微机电系统和传感器

用于感知或操纵物理世界的微米大小的设备

安科是微电子封装技术的全球领导者，也是微电子系统(MEMS)和微电子机械系统(MOEMS)最大的外包供应商。我们的MEMS/传感器封装在加速度计，陀螺仪，磁力计，麦克风和传感器，包括压力，温度，红外，生物医学，化学和气体。

MEMS是一种微米大小的设备，可以感知或操纵物理世界。MEMS是利用微加工工艺制造的，类似于那些用于生产集成电路集成电路设备的工艺。这允许在IC设备的典型的同一小区域内创建一个二或三维机械系统。由于晶圆加工过程与集成电路制造类似，MEMS通常是在硅片上制造的，但也可以使用其他类型的基片。由于尺寸的原因，在一个晶圆上可以制造出成千上万个这样的器件。