MEMS和传感器

微型尺寸设备，感知或操纵实体世界

安靠是微电子封装技术的全球领袖，也是最大型的微机电系统（MEMS）和微光机电系统（MOEMS）外包提供商。我们的MEMS /传感器适用于加速器，陀螺仪，磁力仪，麦克风和传感器，包括压力，温度，红外线，生物医学，化工和气体等。

MEMS是能够感知实体世界或做为致动器的微型尺寸器件.MEMS的制造采用集成电路IC设备类似的微细加工工艺。该工艺可以在典型的集成电路设备小面积内建立起二维或三维系统。由于制造工艺与IC类似，MEMS通常建立在硅晶圆之上，但也会采用其他基板类型。得益于它的微型尺寸，单个晶圆上能够容纳成千上万个此类设备。